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半导体产业中的核心工序和材料

2026-06-26 18:01
发布者:往事随風
来源:往事随風
标签:芯片设计晶圆制造封装测试
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我们知道芯片产业有三大核心工艺段:1芯片设计、2晶圆制造(前道工艺)和3封装测试(后道工艺)。核心内容如下:

一、 芯片设计(Design)

这是芯片制造的起点,主要将功能需求转化为可制造的电路版图,为后续制造提供“蓝图”。

逻辑设计:使用硬件描述语言(HDL)编写代码,搭建芯片的电路逻辑架构,并进行功能验证与仿真。

物理设计(布局布线):将逻辑设计转化为物理版图,确定晶体管、导线的具体位置和连接方式,并生成光刻掩膜版(Mask)。这里就需要设计软件EDA,目前全球EDA市场,长期被三家美国公司统治——新思科技(Synopsys)、铿腾电子(Cadence)、西门子EDA(前身是Mentor Graphics)。三家合计占据全球约74%的市场份额,在中国市场占比更高达80%以上。中国有华大九天,但是差距还是蛮大的,主要是这些EDA软件和台积电、海力士这些大厂的工艺互通,可以相辅相成的成长,国内EDA没有这个土壤,只能说有了。

二、 晶圆制造(前道工艺,Fab)

这是芯片制造最核心、最复杂的环节,在晶圆(高纯度单晶硅薄片)上通过反复的工艺循环,构建出晶体管和多层电路结构。核心工序包括:

晶圆制备:将沙子提纯为高纯多晶硅,通过单晶生长(拉晶)形成单晶硅锭,再切割、研磨、抛光成合格的晶圆。

氧化:在晶圆表面生长一层二氧化硅(SiO2)薄膜,作为绝缘层或保护层。

光刻:通过光刻机将掩膜版上的电路图案投影到晶圆表面的光刻胶上,实现图形的精准转移(涂胶、曝光、显影)。

刻蚀:通过化学或物理(等离子体)方法,去除未被光刻胶保护的区域,将电路图案刻蚀到晶圆上。

薄膜沉积:通过化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)等工艺,在晶圆表面沉积绝缘层或导电层(如多晶硅、金属)。

离子注入(掺杂):将特定杂质离子(如硼、磷)注入晶圆特定区域,改变局部导电性,形成晶体管的源极、漏极和栅极。

化学机械抛光(CMP):通过化学腐蚀与机械研磨结合,将晶圆表面打磨平整,为下一层工艺提供平坦基础。

金属化/互连:沉积金属(如铜、铝)并刻蚀,形成金属导线,将各个晶体管连接成完整的电路网络。

三、 封装测试(后道工艺,OSAT)

将加工完成的晶圆转化为可实际使用的独立芯片,并进行最终质量检验。

晶圆测试(CP测试):在晶圆切割前,通过探针台对晶圆上的每个芯片(Die)进行初步电性测试,筛选出合格品并标记坏点,以降低封装成本。

晶圆减薄与切割:对晶圆背面进行研磨减薄,然后沿划片线将晶圆切割成独立的芯片裸片(Die)。

芯片封装:将切割下的裸片贴装到封装基板或引线框架上,通过引线键合或倒装焊实现电气连接,最后用塑封材料(如环氧树脂)进行封装,以保护芯片并实现散热。

成品测试(FT测试):对封装完成的芯片进行全面的电性、功能和可靠性测试(如老化测试),剔除不合格品,合格芯片即可打包出厂。

材料方面:

最近买花篮,就是这种PFA的花篮,一个4寸的都要2000多块。特意查什么是PFA。PFA俗称可熔融性聚四氟乙烯,是由四氟乙烯(TFE)与全氟丙基乙烯醚(PPVE)共聚而成的高性能氟塑料。PFA为解决PTFE无法熔融加工的缺点而开发,在保留PTFE优异性能的同时具备热塑性树脂的可加工性。

这个材料还是挺厉害的,全球超纯PFA长期被美日巨头垄断,市场价格高昂、头部厂商包括:科慕(美)、大金工业(日)、索尔维(比)、AGC(日)。国内还不清楚什么地步了。

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